ドリフトが少なく高安定度性を実現し高温環境で高精度位置決めや回転体の測定に向く変位計
プローブや測定範囲によりそれぞれ異なります。
プローブ | 614A-1 | 514-1 | |
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外形 | Φ16mm | Φ5mm (L=25mm) |
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測定電極 | Φ1.8mm | Φ1.8mm | |
測定範囲 | 100±50μm | 100±50μm | |
出力電圧 | ±10V | ±10V | |
感度 | 200mV/μm | 200mV/μm | |
確度 | ±1% F.S(23±5℃) |
±1% F.S(23±5℃) |
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分解能p-p | 2kHz | 15nm | 15nm |
200kHz | 5nnm | 5nm | |
20Hz | 1nm(※) | 1nm(※) | |
ケーブル長 | 1.5m(トライアキシャル) | 1.5m(トライアキシャル) | |
環境条件 | 23±5℃ 85%R.H以下 -30℃~100℃ 95%R.H以下 |
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応答周波数 | DC~2kHz(-3dB)200Hz, 20Hz切替可能 | ||
出力抵抗 | 約200Ω | ||
出力表示 | アナログメータ | ||
電源 | AC ~ 100V±10% 50/60Hz 約13W | ||
外形寸法 | 約90 ( W ) × 150 ( H ) × 282 ( L ) mm |