MODEL 212

ナノ技研株式会社

SoftServoSystems,INC

NANOMETRIC SENSOR MODEL 212

ドリフトが少なく高安定度性を実現し高温環境で高精度位置決めや回転体の測定に向く変位計

MODEL 212

用途

主な特長

性能

プローブや測定範囲によりそれぞれ異なります。

プローブ 614A-1 514-1
外形 Φ16mm Φ5mm
(L=25mm)
測定電極 Φ1.8mm Φ1.8mm
測定範囲 100±50μm 100±50μm
出力電圧 ±10V ±10V
感度 200mV/μm 200mV/μm
確度 ±1%
F.S(23±5℃)
±1%
F.S(23±5℃)
分解能p-p 2kHz 15nm 15nm
200kHz 5nnm 5nm
20Hz 1nm(※) 1nm(※)
ケーブル長 1.5m(トライアキシャル) 1.5m(トライアキシャル)
環境条件 23±5℃ 85%R.H以下
-30℃~100℃ 95%R.H以下
応答周波数 DC~2kHz(-3dB)200Hz, 20Hz切替可能
出力抵抗 約200Ω
出力表示 アナログメータ
電源 AC ~ 100V±10% 50/60Hz 約13W
外形寸法 約90 ( W ) × 150 ( H ) × 282 ( L ) mm
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