MODEL 211

ナノ技研株式会社

NANOMETRIC SENSOR MODEL 211

ノイズレベルを大幅に低減した超高分解能（1nm）高速応答（ 20KHz ）の変位計です。

用途

• 高速、高精度で回転する回転体のランアウト（RRO, NRRO）測定
• HDD用スピンドルモータ、ポリゴン用スピンドルモータの測定
• 工作機械用スピンドルモータの測定
• 超音波振動子、ピエゾの振動測定

主な特長

• 超高分解能 1nmp-p
• 応答周波数 20KHz
• フィルタ内蔵（ 2KHz, 200Hz ）
• 高感度プローブ
• 各種形状プローブ多数用意しております
• オプション　応答周波数最高500k
  ※分解能1nm(p-p) は 0.11nm(rms) に相当

性能

プローブや測定範囲によりそれぞれ異なります。

プローブ		613A-1	614A-1
外形		Φ16mm (L=91mm)	Φ16mm (L=91mm)
測定電極		Φ1.2mm	Φ1.8mm
測定範囲		100±25μm	200±50μm
出力電圧		±10V	±10V
感度		400mV/μm	200mV/μm
確度		±1％ F.S	±1％ F.S
分解能p-p	20kHz	3nm	8nm
	2kHz	1nm	3nm
	200Hz	0.5nm	1nm
ケーブル長		1.5m	1.5m
環境条件		5～50℃ 85%R.H以下
応答周波数		DC ～ 20KHz ( -3dB ) 2KHz, 200Hz 切替可能
出力抵抗		約200Ω
出力表示		アナログメータ
電源		AC ～ 100V±10％ 50/60Hz 約13W
外形寸法		約90 ( W ) × 150 ( H ) × 282 ( L ) mm